一、定义与工作原理

干式螺杆真空泵是一种利用一对螺杆在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用的抽气设备。两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低。

其工作循环可分为三个过程：

‌吸气过程‌：转子旋转形成齿间容积，产生真空吸入气体

‌压缩过程‌：齿间容积减小，气体被压缩

‌排气过程‌：压缩气体通过排气孔口被排出

二、结构组成与技术特点

核心结构

‌螺杆转子‌：采用高性能球墨铸铁，经热处理和高精度数控加工

‌同步齿轮‌：为从动螺杆提供扭矩，保持螺杆间微小间隙

‌轴承系统‌：固定端用双列角接触球轴承，活动端用高负载深沟球轴承

‌轴封系统‌：采用双向唇型密封防止介质双向流动
 

技术优势

清洁无油，可处理腐蚀性气体、有毒气体及含粉尘气体

结构紧凑，动平衡优良，可靠性高

操作简便，维护容易

强制输气，宽范围抽速
 

三、应用领域

干式螺杆真空泵凭借其无油、高效的特点，在多个关键行业得到广泛应用：

半导体：芯片制造、液晶显示器生产、蚀刻工艺

化工：真空蒸馏、溶剂回收、脂肪酸生产

制药：药液回收、无菌环境制造

食品：香料浓缩、食品包装

冶金：真空脱泡、VOD真空吹氧法