真空泵机组的旋涡泵已广泛应用于许多领域：
　　（1）半导体工业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备；
　　（2）科学仪器工业：同步辐射束机、电子显微镜、真空泵机组的极光测试设备、分析测试仪；
　　（3）机械铝设备行业：材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料净化设备。设备、超高真空排气设备；
　　（4）医疗器械行业：牙科器械、透析机；生物制品行业：材料净化与制备；
　　（5）包装行业：食品、医药、生物制品等包装设备；
　　（5）真空冶金行业：真空炉、纳米材料预处理分离设备、真空检测设备等领域。

　　螺旋泵作为分子泵的前泵和小型冷冻泵是获得无油真空系统的更佳配置。它的主要运动部件只有一个滚动盘，动力传递简单。在相同尺寸下，运动半径小，零件少，结构简单紧凑，整机尺寸小，动静涡旋盘间隙小，动盘与泵室间隙小，泵内运动部件与泵室无摩擦，因此稀土几乎没有磨损，运行稳定，耗电量低，气体流量损失小，可以完成这项工作。可靠性高，寿命长，维护方便，维护成本低，体积效率高。空冷不水冷。
　　涡旋真空泵在较大的压力范围内具有较高的压缩比和稳定的泵动速度。由于压缩腔体积的变化是连续的，驱动扭矩变化小，功率变化小，振动噪声低。这是其他类型的干式真空泵所没有的。

　　为了实现涡流泵的有效运行，涡流线必须在每个真空气腔中良好的啮合，以避免涡流壁因真空气腔压力差较大等因素而退化，热变形的产生，一些高压气体在排气腔中的保留，真空泵效率的降低。因此，必须保证涡流线之间的准确夹杂物和啮合，控制工作介质的泄漏，达到吸力的目的。这为涡轮泵结构的设计提供了重要依据。在泵的泵道中，不需要使用任何油和密封液体作为介质，而由动、静涡盘相对旋转所形成的吸压室，则由吸压、排气过程排出。所以，真空泵如何防止渗漏，解决密封问题非常重要。涡旋真空泵密封主要包括轴向啮合间隙的径向密封和径向啮合间隙的切向密封，即齿侧密封。