真空度是泛指低于一个大气压的气体状态，是对气体稀薄程度的一种客观度量。

    

      特点：

 

      1 、真空容器受大气压的作用，压力大小决定于容器内外的压力差；

 

      2 、真空状态下，气体稀薄，单位体积分子数少，分子之间或与其他质点（如电子、离子）以及器壁的碰撞次数少。
 

 

      真空科学与真空泵技术的分支学科

 

      真空技术 ：真空获得、测量、检漏、真空系统及元件

 

      真空冶炼： 铸造、热处理、焊接、单晶体制备

 

      等离子体科学与技术：磁控溅射、离子镀、CVD、等离子体显示器

 

      薄膜科学与技术 ：蒸发镀、离子镀、CVD、溅射镀膜

 

      电子材料加工工艺 ：电子器件、半导体器件、光电材料、外延、掩膜和刻蚀

 

      表面科学： 固体表面电子结构、原子结构，隧道显微镜，表面性能测试

 

      应用表面科学 ：紫外光电子能谱、x光电子能谱等表面分析仪器

 

      纳米科学与技术： 材料制备、性能测试与分析、应用

 

      真空度的单位及真空区域的划分

 

      真空度：是对气体稀薄程度的一种客观度量，最直接的物理量应该是每单位体积中的分子数，由于历史原因，真空度的高低通常用气体压强表示，气压低，真空度高，反之，真空度低。

 

      气体压力：气体作用于单位面积器壁的压力。

 

      真空度测量：早期采用Hg柱高度测量压强，1大气压=760mmHg后来发现Hg有7种同位素，密度不同，这样同一汞柱表示出来的压强不唯一。第10届国际计量大会决定改用帕来定义标准大气压，规定：1标准大气压（atm ）=1.013×105 Pa，大气压的1/760称为1托（Torr ），1托几乎等于1mmHg。
 

      1Torr=1/760Pa=133.33Pa ；

 

      1mbar=100Pa=0.75 mmHg

 

      1PSI=6895Pa=68.95mbar=51.715 mmHg

 

      真空区域的划分：真空区域的划分没有统一标准，国内划分也不统一，一般分为5个区域

 

      粗真空 760~10 Torr

 

      低真空 10~10 -3 Torr

 

      高真空 10 -3 ~10 -8 Torr

 

      超高真空 10 -8 ~10 -12 Torr

 

      极高真空

 

      真空技术的应用

 

      真空泵等产品广泛应用于工业生产、科学研究的各个领域。

 

      例如：压力差制成真空吸盘、真空送料；电子管、离子加速器（碰撞少）；冶金工业：真空冶炼、脱气、精炼、热处理、稀有金属、半导体材料制备；食品工业，真空保鲜、包装、冷冻干燥；活性物质防氧化（延长寿命，灯泡）；表面物理学（洁净表面进行充分实验研究）