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干式螺杆真空泵泵浦电控系统

时间:2017-01-03 13:57

来源:德耐尔真空泵

作者:Denair

点击:


干式螺杆真空泵泵浦电控系统功能:

1、PIL控制器:负责真空泵泵浦系统运转状态监控、记录;整合开关阀、加热器、变频器,并依设定值提供警告及警报讯息;提供适当的人机操作界面、通讯埠、控制讯号埠。

2、人机控制器:提供参数设定、运转讯息显示、警告讯息显示、启动、停止。

3、控制讯号埠:依规范SEMI E73-0299。

4、通讯埠:透过RS485网络联结,由PC监控。

真空泵泵浦电控系统架构

图为真空泵浦电控系统架构

泵浦监控程序

图为泵浦监控程序

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