真空泵的作用是从真空室中除去气体分子，降低真空室内的气体压力，使其达到所需的真空度。一般来说，从大气到极高的真空度都有很大的一范围。到目前为止，没有一真空系统能覆盖这一范围。因此，为了满足不同产品工艺指标、工作效率和设备使用寿命的要求，不同的真空截面需要选择不同的真空系统配置。为了达到最佳配置，在选择真空系统时应考虑以下几点：

    确定工作真空范围

    首先，必须检查和确定每个一过程所需的真空。因为每个一工艺都有其合适的真空范围，所以必须仔细研究和确定。

 

 

    确定极限真空度

     在确定工艺所需的真空的基础上，检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空确定了系统的最佳工作真空。普通来说，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20％，比前级泵的极限真空度低50％。

     被抽气体种类与抽气量

     检查确定工艺所需抽气量和抽气量。因为如果要泵出的气体类型与泵中的液体发生反应，那么泵系统就会受到污染。同时，必须考虑确定适当的排气时间和排气过程中产生的气体量。

真空容积

     检查确定需要的真空、流动阻力和真空管泄漏所需的时间。在满足所需真空度后，考虑在一固定工艺要求的条件下，保持所需的真空抽速。

     主真空泵的选择计算

 　　s=2.303v/tlog（p1/p2） 　　其中： 　　s为真空泵抽气速率（l/s） 　　v为真空室容积（l） 　　t为达到要求真空度所需时间（s） 　　p1为初始真空度（torr） 　　p2为要求真空度（torr